第341章 与尖端的差距！林决带来的信心！

紧接着。

一个被林决规划好的消差工程节点图，出现在众人眼中。

林决声音随之传来，

“前辈们也都清楚，EUV

反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差，是因为8

米极紫外长光程的全局波前基线失配产生的。”

“目前我们的做法和国外一样。”

“......用11

块钼硅多层膜，通过反射镜在斜入射入，让膜层反射偏差经过

8

米的光程，11的

次反射线性累积，最后形成固定波前畸变。”

“我看了胡老给的手稿。”

“目前，我们光机所单块反射镜精度极致工艺水平，面形

0.2nm

RMS，13.5nm

反射率

65%......”

“对比蔡斯，ASML的成熟量产水平来看，面形差了0，反射率差也差了足足5%！”

“而在多次反射累计后......”

“这个差距变得更大了。”

“我们全链路最终波前精度是1.2nm

RMS，而ASML的，是0.15nm

RMS。”

“整整8倍的差距！！！”

“在这个数据下，实际工况仅能完成单根纳米线的原理验证！”

“没办法......我们既缺少高端测量仪器，还没有精准的全局耦合补偿模型......连实际误差都拿不到。”

林决的声音在会议室内回响。

他口中的这些问题，在座诸君都是清楚，也是他们为此努力奋斗解决的目标。

根据目前的进展来看......

要追上国外目前量产水平，在原本规划中，可能还要个十二三年左右的时间。

注意.....

这里林决说的还是量产水平，而并非最尖端产品！

“但现在......”

“根据我列出的工程节点推导。”

“林氏函子光学变式......咳咳......请允许我先用这个名字称呼它。”

“我们是不是可以将它先做跨尺度同构映射，然后将零散值变成全局真实的分布呢！？”

“这样做的话，我们就不用再去推演11次反射的相位积累.......”

“而是将十几个零散的可见光测量指数函子，完成两个关键映射！”

“大家且看......”

说着，林决点开其中一个节点示例，一个更加直观的模型图落入众人眼

中。

“通过这种方式。”

“我们可以同构映射13.5纳米的EUV波长分布，以及同构11块镜子串起来后的误差分布。”

“如此一来。”

“我们便能准确知道，每一块镜子的具体相位偏差。”

核心专家组们听到此话后，不禁陷入沉思。

很快，有个跟原本就随胡老的光学设计师站起来问，

“林决你的想法很新奇，不过我有点疑惑，你要怎么确定每块镜子背面促动器要加的补偿电压？”

一听这话。

林决笑了出来，就在这儿等着你呢。

他关掉当前画面，打开另外一个节点图。

“函子根据这个真实的相位分布，直接输出电压值给促动器施加局部变形，把镜面反向相位补偿量就行。”

那个光学设计师皱眉沉思了一会儿，

“嗯，逻辑上好像勉强能行。”

在他的视角中。

林氏函子光学变式这个东西，还没用科学进行验证过。

所以.....

还得保持怀疑谨慎的态度才行。

林决也很赞同，“确实，这是相对理想化的推演，实际工况中，咱们还得经过反复测试。”

等到那人坐下，立马又是一个个专家站起来提问。

“没有绝对标定的参考基准，要怎么确定补偿量没有系统偏差呢？”

“多路径反射杂光带来的对比度损失，你靠波前补偿怎么消掉？”

“如果换高

NA

的更长光程，这套方法是否还能使用？”

“.......”

一个个问题被抛出。

林决依旧轻松解答。

“函子是基于自伴算子的正交分解做映射，所以偏差会刚好落在补偿空间的正交方向上。”

蒋墨闻言，立马激动拍了拍桌子，跟旁边的房怀年炫耀，“你看，我的推导和林决一样吧！”

与此同时，他心中再次不忘骂了一句：“我的废物孙子！看看人家！”

林决回答继续着，

“对比度损失的话.......函子算全局波前的时候，已经把所有多路径反射，当成传播群里的高阶元素算进全局解里。

所以，在这个过程中，已经不用在光路里塞光阑，而是可以靠镜面变形反向抵消。”

“NA更长光程吗？这个问题好......”

林决之前在

做PPT的时候，忘了这个问题。

不过没关系.....

【全知】启动！

这一刻。

林决来到了整个过程的终局！

锡滴被激光打爆，新波长的极紫外光顺着照明光路射出。

林氏函子变式的规则下......

安装偏差，斜入射带来的相位非均匀性......全部消除。

光在

15

块镜子之间来回反射，固定波纹全程并未出现。

在脑海中预见了整个过程后。

林决立马关闭【全知】，微微呼出一口气，

“这个方法核心，还是通过局部测量值到全局补偿场的映射规则，所以更长的光依旧能够使用。”

“好了，下一个问题.......”

“林决，我认为.....”

“前辈的想法是对的，不过在应用林氏函子光学变式的情况下，可以这样这样，再那样那样.......”

此时此刻。

林决仿佛化身张无忌。

一人独挑六大门派高手！

当然了......

目前林决回答的所有问题，都只是单纯在理论上的。

这一切.....还需要跑仿真，然后再实际工程验证才行。

另外.....

别看林决刚才在众人面前装了个大的，也别看众人兴致勃勃，兴奋着讨论不停。

但这个问题要解决。

有一个最最最最重要的前提！！！

那就是......

林氏函子光学变式的映射关系表，需要完全成立！

现在......

光是验证这套东西，就不是个轻松的活。

不过嘛......

新的方向已经打开。

在场众人无不为之兴奋。

有的虽然已经一大把年纪，但此时内心热血沸腾，却充满了无穷动力！

如果......如果此事能成的话.....

华夏物理史书上，是否能有吾辈之名？

黄所站起来，笑道，

“所以......接下来的首要任务，是验证林氏函子光学变式的映射关系！”

“只要确定没问题，那我们就按照林决所说，将工作一步步推进下去！！”

他面向诸君，深深鞠躬，

“那就拜托了！诸位！”